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個人輸入代行の『舶来屋』がお薦めする「
スパッタ
」関連の書籍をご紹介しています。 |
| 著書名 | 現場のスパッタリング薄膜Q&A―反応性高速スパッタの実務アドバイス | ![]() |
| 著者名 | 小島 啓安 | |
| 出版社 | 日刊工業新聞社 | |
| ASIN | 4526061190 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 3,150 | |
| 感想文 | 概要:コストパフォーマンス最高 本文:基礎から応用までこの一冊で完了します。 Q&Aから予想されるライトな内容ではありません。 他に反応性スパッタについての書籍なら Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science) (Springer Series in Materials Science) (Hardcover)くらいでしょう。 様々な引用も多く、余程のことが無い限り困ることは無いでしょう。 欠点は、内容が細密なことと記載順序が多少行ったり来たりするので、斜め読みでは 必要な部分を読み飛ばす可能性があります。 索引の数を増やすか、重要キーワードを太字にしていただければ助かったと思います。 | |
| 著書名 | スパッタ薄膜―基礎と応用 | ![]() |
| 著者名 | 小林 春洋 | |
| 出版社 | 日刊工業新聞 | |
| ASIN | 4526032735 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 3,045 | |
| 感想文 | 概要: 本文: | |
| 著書名 | 薄膜作成の基礎 | ![]() |
| 著者名 | 麻蒔 立男 | |
| 出版社 | 日刊工業新聞社 | |
| ASIN | 4526055034 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 3,990 | |
| 感想文 | 概要: 本文: | |
| 著書名 | スパッタ技術 | ![]() |
| 著者名 | 和佐 清孝, 早川 茂, | |
| 出版社 | 共立出版 | |
| ASIN | 4320084772 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 4,200 | |
| 感想文 | 概要: 本文: | |
| 著書名 | プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用 | ![]() |
| 著者名 | 市村 博司, 池永 勝, | |
| 出版社 | 日刊工業新聞社 | |
| ASIN | 4526054208 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 3,360 | |
| 感想文 | 概要: 本文: | |
| 著書名 | トコトンやさしい薄膜の本 (B&Tブックス―今日からモノ知りシリーズ) | ![]() |
| 著者名 | 麻蒔 立男 | |
| 出版社 | 日刊工業新聞社 | |
| ASIN | 4526049999 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 1,470 | |
| 感想文 | 概要:現代の社会に欠かせない薄膜の技術 本文:トコトンやさしいシリーズは、馴染みのない工学系分野の事柄を理解するのに一番分かりやすい出版物だと思っています。2ページで1つの項目を紹介・解説し、説明文1ページ、図解1ページという構成になっていますので、興味のあるところから読めますし、関心のあるところだけ読んでも理解できるようになっています。基本的に門外漢の人たちのために書かれていますので、平易な語り口が特徴です。 本書は、そのシリーズの中の「薄膜」を取り上げています。本書に書かれていますように、21世紀は、液晶やプラズマディスプレイなどの平板表示装置の時代と言われています。薄膜の技術革新がさらなる進化した薄膜を作ることで様々な分野の水準を上げていることが理解できました。 真空の定義や測定法、真空と薄膜の関係、真空装置の使い方は、ちょうど知りたい事柄でしたので、関心を持って読みましたし、一応理解できたつもりです。 章としては、人類の夢を実現する薄膜、薄膜作成に欠かせない真空、薄膜の構造と性質、その作成法、蒸着法で作る薄膜、スパッタ法で作る薄膜、気相成長(CVD)法で作る薄膜、めっき薄膜、エッチングと平坦化の技術、となっています。 筆者の麻蒔立男氏は、静岡大学工学部電子工学科卒業後、日本電気株式会社に入社。工学博士を取得し、東京理科大学教授を経て、執筆時に東京理科大学嘱託教授という略歴の方です。ずっと薄膜の開発に携わり、教鞭も取られていますので、深い学識に裏付けられた解説だったと思います。 | |
| 著書名 | はじめての薄膜作製技術 (ビギナーズブックス) | ![]() |
| 著者名 | 草野 英二 | |
| 出版社 | 工業調査会 | |
| ASIN | 4769312520 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 2,310 | |
| 感想文 | 概要: 本文: | |
| 著書名 | プラズマ半導体プロセス工学―成膜とエッチング入門 | ![]() |
| 著者名 | 市川 幸美, 堤井 信力, 佐々木 敏明, | |
| 出版社 | 内田老鶴圃 | |
| ASIN | 4753650480 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 4,200 | |
| 感想文 | 概要:Very good 本文:The service of amazon is very good. The book I have recived is excellent for me! Thank you very much! | |
| 著書名 | 気体エレクトロニクス | ![]() |
| 著者名 | 金田 輝男 | |
| 出版社 | コロナ社 | |
| ASIN | 4339007455 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ¥ 3,150 | |
| 感想文 | 概要: 本文: | |
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