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個人輸入代行の『舶来屋』がお薦めする「
スパッタリング
」関連の書籍をご紹介しています。 |
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個人輸入代行の『舶来屋』がお薦めする「
スパッタリング
」関連の書籍をご紹介しています。 |
| 著書名 | 現場のスパッタリング薄膜Q&A―反応性高速スパッタの実務アドバイス |  |
| 著者名 | 小島 啓安 | |
| 出版社 | 日刊工業新聞社 | |
| ASIN | 4526061190 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ￥ 3,150 | |
| 感想文 | 概要：コストパフォーマンス最高 本文：基礎から応用までこの一冊で完了します。 Q＆Aから予想されるライトな内容ではありません。 他に反応性スパッタについての書籍なら Reactive Sputter Deposition (Springer Series in Materials Science) (Springer Series in Materials Science) (Hardcover)くらいでしょう。 様々な引用も多く、余程のことが無い限り困ることは無いでしょう。 欠点は、内容が細密なことと記載順序が多少行ったり来たりするので、斜め読みでは 必要な部分を読み飛ばす可能性があります。 索引の数を増やすか、重要キーワードを太字にしていただければ助かったと思います。 | |
| 著書名 | 入門 真空・薄膜・スパッタリング |  |
| 著者名 | R.V.Stuart, 毛利 衛, 数坂昭夫, | |
| 出版社 | 技報堂出版 | |
| ASIN | 4765503585 | |
| 装丁 | 単行本 | |
| 価格 | ￥ 2,100 | |
| 感想文 | 概要： 本文： | |
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